%PDF-1.6
%����
1 0 obj
<>
endobj
2 0 obj
<>stream
2024-03-11T20:15:19-05:00
2024-03-11T20:15:19-05:00
2024-03-11T20:15:19-05:00
Microsoft® Word for Microsoft 365
application/pdf
Axcelis Form 10-K for Printed Annual Report. printing.pdf
howardlau
uuid:6bd92dcc-d60b-4a7f-a414-d37a9837deed
uuid:4f893727-0899-4817-b747-ee41f5b5cd3e
Acrobat Distiller 22.0 (Macintosh)
endstream
endobj
3 0 obj
<>
endobj
5 0 obj
<>
endobj
6 0 obj
<>
endobj
17 0 obj
<>
endobj
18 0 obj
<>
endobj
19 0 obj
<>
endobj
20 0 obj
<>
endobj
21 0 obj
<>
endobj
42 0 obj
<>/ExtGState<>/Font<>/ProcSet[/PDF/Text]>>/Rotate 0/Type/Page>>
endobj
43 0 obj
<>/ExtGState<>/Font<>/ProcSet[/PDF/Text]>>/Rotate 0/Type/Page>>
endobj
44 0 obj
<>/ExtGState<>/Font<>/ProcSet[/PDF/Text]>>/Rotate 0/Type/Page>>
endobj
45 0 obj
<>/Font<>/ProcSet[/PDF/Text]>>/Rotate 0/Type/Page>>
endobj
46 0 obj
<>/Rotate 0/Type/Page>>
endobj
66 0 obj
<>stream
H�
endstream
endobj
63 0 obj
<>stream
H��W[s��~���*U�����@�2�.do��TJc49�����������2`��n��` ���믻o��U���/����K/�=���/�Ӆ��=��Î�[V�6z���k������K���[���Dk��\ޱ��l��=�kߗ���/���A��ޖ\v�����ك#n��Ǝ���u�5��=svx�8�̝r]�=���ްc�.=.�7*Lo���av����-/���l�҃E�C��aq�?ny�e�����j�^��i�0�)��+�D3�� H����w}ͤ�f#_�u[������������m�f�{�&Z�[�����8��Ʃи���-�Б��_�{�?�Y4@�����'��Ѻ�A"]OZ��3aw�(����'�&9g���Cj��t�A�%0eɸ���5ˠ&�`��+��Q��O,Jfa^��5�G�gPDl+<�a�I*r�#��Y2@���+�擴�1I{zʋ�+�4�Ы>X�N�u�'ٟ���B+���������4�2���Խ�%���%5���W�w��!
�2������B~�� ��-�pDT�<�x`lJ1 ��f������RK}���s���]���� ʰ��\�� �$�v��,F����(giTS�`%�K��(wA����g^�@D,yK��Y��V�~Z*ˈ�(����="�a�+,�B���&㸚���^\�ڀ�l�1�|T�O��;V<~�aI9�O4��+�)�>>��DIE�O�8�J !�=cݫ��* ?)|��= ���3�B���b
4�~R���O�it����y�c|4߲���My�<9s(j���<%�����8:���0c�J�O5D������!].3�s���@M�qj�*Üqi3
�{�����>�n�A�U=���h�I�W���joJ�1�UJ�����Oe����W��h���b���F\��#����%��g-.�c��R����s�#ݠ_���5��ׯ�������w)��F�]��j�XS�-'�cNE���V����Gc��Uڬ�� �쐾d�2H~�-���ٙ
��F�^������>�b8�U@?˜b��������x�P�6�
%ܑ7�6*6�4Áj��(r�9hG�N&f�6��C=��2�n.�f�;��������9؉�R��M~c�#Y�
,m@ Tf�C)�w� ��(c_��6��&�w�_0�'{,\<$Ddh�˖Х�t�n��5$�T>+G�;��(3[Զ=�_�s�1N���b/d�B�x(<� $��ņ·qq���~�8'��º��S(<�}��w��u�K^(W�&��*>� �؍�Q��-a?��F�����Ey��ػa��:�։9~�za��[ьEg,�^|;�rf0u�wD���1���A1�4M]�ŋ��K�����o��dEL�%����j������M>3M��������7��j�'D{�(�P��� E�[P��\�X�ԇ�ň=��аچnu�T7�m{`�{:I0씁����N�b$�eZ�d�\�溓�.�����%裈%L�q<���3Ǒ/jmzd��L!���@���o[�m���}p6�Wv{��-�Jy�q�
��1^Pz��rќ�'s\0y\��z�+�D�K`}��K���uGj���p��X�!��Iㅪ"P�9ك���H�;�$�Kr�#ʵCh|7�}�1��<�?I�4�, �;��X�!e�p���c
Eׯ^�e�����grI7(;��?
��@�
�
0�.-?��畣�JMb�3*�TER�WVmRu��Α��R?�6D8��p��ΕH{�#��Wh�*�=��w�O� �`�b��v�Cn)<r��7��P�;�����`�JW�;�ќ�gy�n��i�c6�}'0�}�p����F��. !������*��r�<��z����iG%ۏ9�go�NO���?�ı�a�d��'�Ŀ��4;�� =�L4k@��^�����h��~p�c�T���`<�;}�1:�*��
+�W���G���Y����TN&kgJ��&����WZIq�[N*�TKr9�n%�b��m+Y���V#���~�v�+-5��T��#�wq9�R7�Gp� J⃀�RY]�>~
�hS(���>/��PNV����bv;9m��HF��k^�, x�> �����#�֍b
�K���>���vB�\�m�V۴MK1�y���4��ܱҗ#��6��v����]�WjM�OJm�x ��R�z��_J�t�=�����Y
ǾhC�1?�(.|�l����p�mq����)܅ҏD�e� ]�@����^��,��,�.��ʲ�%mr9��
�~r�����nf���M%���,\�t���
0�q5�
endstream
endobj
64 0 obj
<>
endobj
65 0 obj
<>
endobj
70 0 obj
<>
endobj
71 0 obj
<>
endobj
72 0 obj
<>stream
H�|R�n�0��+�$8ЄWB*�J��H�
M�8������1���C�c�����=��gY&8�<pºl���fW^��-E[�j����Opԥ8c��n�SY3 �N����X��x����@?_�Ieև�>"���3,��&'�]�8����vyQrSb�1�������la0��`9F��)g�ǕD���aC�)�fSsA�,�~6��\#m!�t��[�p�U��<��mQ�՚6i^�w��^�*+V���0�/��۫�-����
endstream
endobj
73 0 obj
<>stream
H�l� PYǻ ݉���-�d:Q`�YF�Fd8����e @0!��������%�D��� 袰���q�]ϝ��/Vm�;U�[VW����������}�L9������i�I���2ePh`xH�bvz5#�ڄ�1�3���|1.4c��w�d�f����ό|����b�I,���Lq�����W��#U*�r�q�2��"S�����#uvuqqdGW'�g�"^&
�(sd�J�F�";S��#K\.
�dʒ�d�D�259C���,
O�I�6�M��NUd,�z�����Ji�L)�V���a�T�j��?�~�xg���c��آ�:�ül�TSc�� ��c����d�I��!�3&=.ǝS���T`�ô��'bq�xA��n��x��'s\�4ͥ��-�7g^мkf�fr�����7���)�v�5�U��ÖA��,�n� �(D,���P�ԋ��G��X7[Oل�T�R�嶌�Ix\$.�d�w��h��)6e
!�BJQ�ܡ��IIQ7��X�5�1�cpG�&��l�f�X×֨�j�P㰓9@����@&!?a�Sd<�F�������
��@�?�Gv*�f_G(��R�Q�=&������TCM�5��㯵��ǁ�rJ�E�~�/���{���O�n�G����g�\dO�){�,�h��0����K��M�+��^���F�J�x'���<||[)O˕�?S.]����������m9�*�r{�g�/,S�uV�o'aiq���!� �P��l*<�JF(��6�c[^kt��7n��C��X���"�*�1�F�n�ޟ ���M?~�������'����$�(�?-#Q�0"{rLZZOV�-�mJ�쮯ۮ tWis�)ek�<�-A2��Q����"���{��z�[%�=zx|c1#W�)��-pH>'��b"�i]G�}a_��Ɋ�ԌZ�����"��ʲ��~gz�[&�z��T��Bm5���r����hő#eti�� &?@^�
�4�C5~�(78���b�U�Q㏀��sJ����벵��:�VY+���߰?:�=V{q��.��%�8���7�&��|��s�(�4�=X��2(F���� Y,F���BȺ�f�yZ�|QV����JpO�_�2���d=��6ʸ�V��Ak��$w��� 3��Ek?��#�N�(;&j�̌��ڂXی�3�TP����!Q�>v1�lDf�eK4�"�uX@䒉����"�E��j�%����ҐP�PA��[
�j+(�+���V���bC�����^��K�Ir��;`Y6��L��Go�_��5�ܴ��aX
�4���[n��f���m�>�X��JA���N�� C���a�hA�z��[�DrW#������w�j��?ā�7���1�}��";������3J�ٛ��ܙ��` s���+�qFru����vg����x�$�s�(C(�B�
(mB�ѺId�@�& �����b���K.CX,�PzB5�7T�D����*Ǹ�tX�����2��_�2��7�*ъ��s��n�y�'�H�2����ŪoT�#F��){W���BG�;`�Lܟ��E�SZ��ykW�����2w/'�s���pH�:��m���%+�7�^vW��*dQF_* j��W���[u��n�oWuG
���P��Z��Mr��) 6�aX�,�9"�� #�]������]�Ģ d����;��*}W�7)"�,0�϶��7Mh���"�����a�}��G���n�����#mvH�;u���]�w\�� r�m�62
ʽ`�V��